طراحی و شبیه سازی فیلترهای قابل تنظیم فرکانس بالا با استفاده از تکنولوژی میکروماشین

در این پایان نامه طراحی و شبیه سازی فیلترهای میانگذر قابل تنظیم برای کاربردهای فرکانس بالا با استفاده از فنآوری میکروماشین ارائه شده است. طرح مدار پیشنهادی، فیلتر میانگذر چبی‏شف معکوس درجه سه، با اندازه سلف‏های ثابت و سوئیچ‏های فرکانس بالا به عنوان خازن متغیر می باشد. پیاده سازی مدار هم بصورت المان‏های فشرده انجام شده‏ است. متغیر بودن پهنای باند و فرکانس مرکزی به صورت همزمان، قرارگیری قطب‏ها در محل مناسب، شیب تضعیف بالا برای باند قطع، توان تلفاتی پایین در باند عبور و مساحت کلی کوچک از ویژگی‏های ساختار پیشنهادی است. از دیگر ویژگی‏های مدار پیشنهادی، افزایش ضریب کیفیت سلف در فرکانس بالا برای بهبود عملکرد فیلتر است. همچنین سوئیچ‏ها بصورت دیجیتالی کنترل میشوند. فیلتر میانگذر ارائه شده در این پایان‏نامه برای سه فرکانس مرکزی و پهنای باند متفاوت طراحی و شبیه‏ سازی شده است. این فیلتر برای کاربردهای bluetooth, wimax, wifi در محدوده فرکانسی 2.3 -5.9 گیگاهرتز بهینه‏ سازی شده‏ است. فرآیند ساخت مدار با استفاده از تکنولوژی میکروماشین با دقت 2 میکرومتر ارائه شده است. فلز مورد استفاده در شبیه‏ سازی مس و پروسه ساخت هم برای طلا و هم مس بهینه‏ سازی شده‏ است. از دی‏ اکسید سیلیکون به عنوان دی‏ الکتریک سوئیچ، از پلیمر به عنوان لایه قربانی و از سیلیکون به عنوان زیرلایه اصلی استفاده شده است. همچنین بیشترین ضخامت استفاده شده برای فلز، یک میکرومتر می‎باشد.